설명
흑연 보트로 만든등방성 흑연는 플라즈마-강화 화학 기상 증착(PECVD) 공정을 통해 실리콘 웨이퍼 표면에 실리콘 질화막을 증착하는 데 사용되는 플라즈마-관로입니다.
고운 곡물로 만든 흑연 보트등압성 흑연좋은 전도성, 좋은 열 전도성, 낮은 불순물 함량, 강한 산화 저항, 빠른 냉각, 빠른 가열 등의 특성을 가지고 있습니다.
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등급 |
벌크 밀도 |
특정한 저항 |
굴곡 힘 |
압축 |
금연 건강 증진 협회 (보통등급) |
금연 건강 증진 협회 |
곡물 |
정기적인 |
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g/cm3 |
μQ.m |
MPa |
MPa |
ppm |
ppm |
μm |
mm |
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IS-14 |
1.86 |
11~12 |
65 |
135 |
500 |
50 |
5 |
1200*640*270 |
|
IS-41 |
1.78 |
15 |
65 |
130 |
200 |
N/A |
10 |
620*520*260 |
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IS-42 |
1.78 |
14 |
55 |
110 |
200 |
N/A |
13-15 |
510*310*250 |
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*위 값은 일반적인 값이며 보장되지 않으며, 다른 사양 및 크기도 가능합니다. |
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흑연 블록SHJ에서 제작한흑연 공장우수한 특성으로 인해 태양광 산업에서 널리 사용됩니다. 등방성 흑연으로 제작된 흑연 보트는 긴 작업 조건에서도 모든 지점에서 동일한 저항률을 유지하여 안정적이고 균일한 전류 분포를 보장합니다. 또한 흑연 보트의 산화 속도를 효과적으로 늦춰 서비스 수명을 크게 연장합니다.
고순도 흑연 재료에 대한 태양광 업계의 요구 사항을 고려하여{0}}저희는 정화 서비스도 제공합니다.흑연 제품가공 흑연 부품의 순도를 5~50ppm으로 높이는 동시에 2PPM 이하로 낮춰줍니다.
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